上海华力微电子申请检测窗口等专利，降低检测窗口破洞的风险

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司申请一项名为“检测窗口、研磨垫片和化学机械研磨装置”的专利，公开号CN119871211A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本发明提供了一种检测窗口、研磨垫片和化学机械研磨装置，检测窗口的内框的两端均呈弧形，且内框的顶部开口大于内框的底部开口，以使得内框的侧壁以一预设倾斜角度逐渐向内收敛以形成斜坡结构。本发明提供的检测窗口、研磨垫片和化学机械研磨装置，通过将内框的两端设置成弧形，使得内框的两端受到的应力能够分散，从而能够减弱检测窗口由于压差和横向摩擦力的作用而产生的隆起形变；通过将内框的顶部开口设置成大于内框的底部开口来使得内框的侧壁以一预设倾斜角度逐渐向内收敛以形成斜坡结构，能够在检测窗口受到侧向摩擦力时，提供一定的横向形变空间来减轻纵向形变，从而能够减弱隆起的程度，进而能够降低检测窗口破洞的风险。

本文源自：金融界

作者：情报员