成都纤声科技申请声学结构及其制备方法专利,有效改善声学结构内空腔一致性

金融界2025年4月18日消息,国家知识产权局信息显示,成都纤声科技有限公司申请一项名为“6617.一种声学结构及其制备方法”的专利,公开号CN119815256A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种声学结构及其制备方法,涉及声学传感器技术领域,方法包括:提供基底,基底的正面具有预设区域;在基底正面的预设区域内形成边界定义层,边界定义层用于定义声学结构的空腔在预设区域内的边界;在预设区域内形成层叠于边界定义层上的压电振膜;从基底的背面刻蚀形成贯通至边界定义层的背腔,边界定义层覆盖背腔在基底正面的开口;去除边界定义层形成位于基底和压电振膜之间的空腔。利用能够形成与预期高度相符的边界定义层,从而使得各预设区域内空腔的位置、形状和尺寸也能够与预期高度相符。并且在批量制造中,也能够利用各预设区域内的边界定义层的高度一致性,有效改善各声学结构内空腔的一致性。

天眼查资料显示,成都纤声科技有限公司,成立于2020年,位于成都市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本151.748253万人民币。通过天眼查大数据分析,成都纤声科技有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自:金融界

作者:情报员