深圳市矩阵多元科技取得离子刻蚀设备专利，有效避免电磁波的泄露

金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司取得一项名为“离子刻蚀设备”的专利，授权公告号 CN 222762924 U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请提出了一种设备主体、隔离件、基片台和电磁屏蔽装置，设备主体设有容纳腔；隔离件连接于设备主体的内壁，隔离件将容纳腔分隔出第一腔室和第二腔室，隔离件设有第一通孔，第一腔室和第二腔室通过第一通孔连通；基片台与设备主体可移动连接；电磁屏蔽装置与隔离件连接，且电磁屏蔽装置环绕第一通孔的外周缘，电磁屏蔽装置的至少一部分能够相对隔离件移动，以靠近第一通孔；其中，离子刻蚀设备包括刻蚀状态，在刻蚀状态下，基片台位于第一通孔所在处，电磁屏蔽装置抵接基片台，基片台和电磁屏蔽装置共同封闭第一通孔。本申请的离子刻蚀设备能够有效避免电磁波的泄露，有益于保证离子刻蚀作业的稳定性。

天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1354.502万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息139条，此外企业还拥有行政许可13个。

本文源自：金融界

作者：情报员