芯恩（青岛）集成电路有限公司取得涂胶显影设备专利，保证了晶圆的处理效果

金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种涂胶显影设备”的专利，授权公告号CN222774733U，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种涂胶显影设备，其特征在于，包括晶圆装载装置、湿气清除装置和工艺装置；所述晶圆装载装置与所述湿气清除装置连接，所述晶圆装载装置用于装载晶圆，所述湿气清除装置用于清除晶圆上的湿气；所述工艺装置与所述湿气清除装置连接，且与所述晶圆装载装置分别位于所述湿气清除装置的两侧，所述工艺装置用于对晶圆进行工艺处理。本实用新型提供的一种涂胶显影设备通过在晶圆装载装置和工艺装置之间设置湿气清除装置可使晶圆的温度和湿度保持在规定要求，保证了晶圆的处理效果，提高了晶圆的处理质量。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目166次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息622条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员